36. EDO Herbsttagung, 4.- 6. September 2006, Wuppertal
 

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36. EDO Herbsttagung,
4. - 6. Oktober 2006, Wuppertal



Praktische Aspekte der elektroneninduzierten Röntgenmikroanalyse mit dem EDS

Michael Wendt - Institut für Physikalische Hochtechnologie, Albert-Einstein-Strasse 9, 07745 Jena
 

Es werden einige praktische Aspekte der Mikroanalyse mit Si(Li) Detektoren behandelt, welche mit einem ultradünnen Polymer-Eintrittsfenster versehen sind. Das sind zunächst spektrale Artefakte, die mit dem Detektionsprinzip verbunden sind beziehungsweise mit den Detektormaterialien zusammenhängen. Werden diese als Verunreinigungen missinterpretiert, kann die Summe der vorgetäuschten Verunreinigungskonzentrationen bis zu ca. 10 Gew% betragen.

In zweiten Teil wird gezeigt, dass etwa ein Dutzend L Linien bekannt sein müssen, um die in den L Spektren der schweren Elemente um Z = 80 zu sehenden Details zu verstehen. Andernfalls besteht die Gefahr, dass die im Spektrum vorhandenen Peaks von Lb3 und / oder Lb5 als La Linien schwererer Elemente missinterpretiert werden. 

Im dritten Teil wird eine Prozedur vorgestellt, mit der es gelingt, Verunreinigungen zuverlässig zu bestimmen, und zwar auch dann, wenn die Verunreinigungslinien von Linien der Hauptbestandteile der zu untersuchenden Probe überlagert werden.

Anschließend wird auf Probleme eingegangen, die entstehen können, wenn man automatische Linienidentifizierungsprogramme benutzt.
 

Bei Fragen und Anregungen email an edo@electronics.uni-wuppertal.de