36. EDO Herbsttagung, 4.- 6. September 2006, Wuppertal
 

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36. EDO Herbsttagung,
4. - 6. Oktober 2006, Wuppertal


Quantifizierungsverfahren der elektroneninduzierten Röntgenmikroanalyse

M. Procop - Bundesanstalt für Materialforschung und –prüfung (BAM), 12200 Berlin
 

Alle Quantifizierungsverfahren der elektroneninduzierten Röntgenmikroanalyse (auch: Elektronenstrahl-Mikroanalyse (ESMA)) beruhen auf dem Zusammenhang zwischen der Intensität der charakteristischen Linien eines Elementes im Röntgenspektrum einer Probe und der Konzentration dieses Elementes in der Probe. Dieser Zusammenhang lässt sich als mathematische Gleichung formulieren. Wird die Intensität mit dem Spektrometer gemessen, kann mit Hilfe der Gleichung die Konzentration berechnet werden. Für die Beschreibung der Emission charakteristischer Linien gibt es verschiedene physikalische Modelle. Demzufolge unterscheiden sich auch die mathematischen Gleichungen und die darauf basierenden Quantifizierungsverfahren, die in kommerziellen Geräten verwendet und vom jeweiligen Hersteller favo¬risiert werden, voneinander. Für sie stehen Abkürzungen wie ZAF, PUZAF, PHIRHOZ, PROZA, XPP, PAP u.a. Der mathematische und physikalische Hintergrund dieser Verfahren soll in möglichst leicht verständlicher Form im Vortrag erläutert werden. Anhand von Beispielen wird gezeigt, in welchem Maße sich all diese Verfahren tatsächlich unterscheiden.
 
 

Bei Fragen und Anregungen email an edo@electronics.uni-wuppertal.de